

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" width="98px" height="58px">市场监管总局12日发布数据,今年上半年,全国新设经营主体1327.8万户。其中,新设企业462万户,新设个体工商户862.9万户,新设农民专业合作社2.9万户,多种经营主体均呈现稳定增长势头。
民营和外资企业发展势头良好。上半年,新设民营企业434.6万户,同比增长4.6%;新设外资企业3.3万户,同比增长4.1%。多种所有制企业发展态势良好,显示市场预期持续改善,企业投资信心有效提升,中国始终是全球投资的热土。
产业结构进一步优化。上半年,第一产业新设经营主体60.1万户、第二产业新设96.5万户、第三产业新设1171.2万户。截至6月底,全国登记在册“四新”(新技术、新产业、新业态、新模式)经济企业2536.1万户,同比增长6.6%,占企业总量的40.2%。
消费领域文化产业亮点突出。随着“哪吒”“悟空”等国产IP火爆全球,文化产业成为上半年消费增长亮点,新设“文化、体育和娱乐业”企业增速高达17.5%。
据介绍,市场监管部门将聚焦经营主体发展需求,持续完善市场准入退出制度,纵深推进全国统一大市场建设,着力维护公平竞争的市场环境,持续优化涉企政务服务,进一步激发各类经营主体发展活力。(记者 赵文君)
编辑: 刘晓东" width="98px" height="58px">
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安茶共富联盟启动仪式 包婷婷/摄
地处阊江与查溪河的交汇处,穿越神秘的北纬30度线,“安茶之乡”祁门县芦溪乡芦溪村群山环绕,溪水纵横,小小一叶茶,绿了山野,富了乡村。
安茶始创于1725年,拥有近三百年悠久历史,曾一度在市场上销声匿迹。1988年,祁门县有关部门派科技人员深入安茶产地芦溪村,遍访当年安茶的制作经营者,经过艰辛努力,终于试制成功,得以恢复生产。此后经过10余年摸索创新,安茶在2003年逐步起势,到了2007年,安茶茶厂如雨后春笋般兴起,安茶产业发展正式迈入快车道。“现在我们芦溪村一共有2800多亩茶园,户均4.8亩的规模孕育出11家茶企,其中5家茶企年产值近千万元,2024年,芦溪村安茶产量突破400吨,产值达6000万元。据安茶协会统计,今年安茶产量达700吨,产值超亿元。”芦溪村党总支书记、村主任严正武笑着说,“这些年靠着生叶采摘和茶叶制作,村民的收入不断增加,从2020年到2024年这5年间,大家的人均年收入增长了3000元,芦溪的这片‘小茶叶’真正变成了富民增收‘金叶子’。”
绿水青山间孕育生长出的不只“金叶子”,还催生出了“茶+研学”“茶+旅游”“茶+民宿”等新业态。
“最初我只是经营一家农家乐,当时想着能给游客提供些乡村风味餐饮、简单住宿就行。后来游客越来越多,大家对体验式旅游需求也高,我就想着拓展,正好老村委会闲置,我便承包下来打造茶产业文旅园。”祁门县祁兰香茶产业文旅园主理人严君凤笑着说,“现在我们一共有18间客房,为了更好地满足游客的住宿需求,我们还打造了亲子房。除了餐饮、住宿外,又专门建了个小型茶博物馆开展研学活动,让学生们能更深入了解安茶。”据了解,祁兰香从2020年开业至今,来体验采茶、制茶等研学活动的已超5000人次,不少单位也会来此开展党建、团建活动。
有人带头,大家的思路便活泛起来,纷纷把自家的“方寸之地”变成就地增收的“致富园”。现如今,芦溪村共有11家民宿,直接带动百余名村民实现家门口就业,编竹篓等配套产业,更让近百户家庭多了份稳定收入。
从一片叶到一杯茶,从茶山到茶厂,从茶文化到茶文旅,芦溪村的“茶路”越走越宽,蓬勃的发展态势也吸引了更多外部品牌前来扎根。
“我们当初选择芦溪村,正是看中了这里优良的生态环境、深厚的历史底蕴,以及茶旅融合强劲的发展势头。”“舟上·安乡”民宿负责人陈科学向记者介绍,民宿整体规划构建了艺术茶园区、美学生活区、滨水休闲区三大空间结构,涵盖23个特色项目,通过住宿、餐饮、研学体验、水上娱乐等多元业态,全方位满足游客的多样化需求。“我们民宿共有25间客房,自去年10月开业以来口碑持续攀升,节假日入住率稳定在90%,今年‘五一’假期更是达到了满房,不少游客都是冲着这里的茶乡风光和特色体验来的。”
从单一的种茶卖茶到多元发展的茶旅融合,芦溪村用一片茶叶书写了产业兴旺、生态宜居、治理有效、生活富裕的乡村振兴新图景。据了解,2024年,全村茶产业综合产值近亿元,村民人均年收入达2万元。
如今,这片浸润着山水灵气的“金叶子”,正让芦溪村乡村振兴的成色越来越足,让村民的幸福生活越来越有奔头。(记者 张 妍)
编辑: 刘晓东" width="280" height="200" alt="芦溪村:“小茶叶”变乡村振兴“金叶子”" >芦溪村:“小茶叶”变乡村振兴“金叶子”若卡塔尔这一全球第二大LNG出口国的供应中断持续,亚洲将首当其冲——其80%的LNG出口流向亚洲。印度、韩国、日本和中国台湾对中东LNG资源依赖程度较高,其中日本、韩国和中国台湾的天然气发电量占总发电量的30%–40%。若冲突短期内无法平息,煤电作为可快速上量的替代电源,将显著增加对煤炭的需求,以弥补潜在电力缺口。
3月2日,洲际交易所(ICE)纽卡斯尔动力煤4月合约上涨8.61%,3日再次上涨7.23%,收于138美元/吨,为2024年12月以来最高值,上涨预期明显增强。

尽管如此,市场中有声音认为本轮上涨难以复刻2022年俄乌冲突期间的行情。与2022年相比,当前亚洲两大煤炭进口国——中国和印度——均已建立起更强的国内供应缓冲。中国年煤炭产量稳定在48亿吨以上,具备灵活调控产能与进口节奏的能力;印度亦持续推进Coal India及其他矿企增产,长期目标是降低对外依存。加之欧洲煤电已结构性萎缩,市场情绪高涨与谨慎并存,而非恐慌。3月4日,纽卡斯尔动力煤期货价格已有回落迹象。
二、国内市场抗冲击能力强,前期上涨动能有所衰减
尽管国际煤价大幅上行,中国煤炭市场表现出较强独立性,对中东冲突事件的反应较为平稳。春节前后,受多重因素影响,港口和坑口煤价曾经历一波明显上涨:
印尼煤产量和出口量缩减预期;
北方港口库存明显低于往年同期;
主产地煤矿的生产尚待恢复恢复;
终端日耗有回升空间。
然而,进入本周,市场情绪明显降温,上涨趋势趋于停滞。
(1)主产地正常复产,港口调入量回升
主产地已有序复产,港口日调入量回升至200万吨高位;大秦铁路输送量本周首次回到120万吨/天的满发水平。北方港口库存连续多日回升,总量重回2500万吨以上。

(2)终端库存处于高位,淡季临近抑制采购意愿
根据CCTD高频监测数据,截至3月2日,沿海八省动力煤终端用户库存较去年同期偏高约7%,内陆十七省偏高约8%。尽管3月工业企业复工将带动日耗回升,但气温逐步升高,4–5月将进入传统电煤淡季,电厂对当前高位煤价接受度不高,需求低迷。
(3)贸易商集中出货,价格开始松动
随着前期煤价涨幅扩大,越来越多贸易商选择在淡季前出货兑现利润,市场报价出现松动。主产地方面,本周起主产地下调价格的煤矿数量有所增多。
综合来看,港口库存回升、煤价已实现可观涨幅、电厂库存充裕、季节性需求转弱等因素已主导国内煤价走势。CCTD环渤海动力煤现货参考价连续两日持平,上行趋势告一段落。
三、煤化工或成结构性支撑点
虽然国内发电领域受中东能源扰动影响有限,但煤化工板块可能获得外部支撑。据海关数据,2025年我国自中东地区进口甲醇约980万吨,占国内甲醇贸易量超过30%。
若伊朗气头化工品出口因冲突持续受限,或将推高中国华东地区甲醇价格,并进一步加剧2026年上半年北半球春耕期间的国际尿素供应缺口,间接提振国内煤化工用煤需求。根据CCTD监测数据,中国化工行业耗煤量保持明显增长,在截至2月27日的当周内,样本化工企业耗煤量同比增加12%,为同期历史最高。
四、结论
尽管目前处于传统需求淡季前夕,但主要动力煤品种价格已明显高于去年同期水平。
截至2026年3月4日,CCTD环渤海动力煤现货参考价显示,4500大卡、5000大卡和5500大卡动力煤现货价格分别为585元/吨、675元/吨和753元/吨,同比分别上涨11%、12%和8%。

与此同时,北方港口库存虽近期连续回升,但总量仍明显低于去年同期,供需局面由去年同期的明显供过于求转为略偏宽松,叠加当前国际煤炭价格因中东地缘冲突而获得强劲支撑,进口煤补充作用减弱,4–5月电煤传统淡季,市场表现仍有望好于去年同期,煤炭价格回调幅度预计有限。